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三氟化硼(BF3)

文字:[大][中][小] 手机页面二维码 2019-12-6     浏览次数:    

描述
三氟化硼(BF3)是一种无色,具有腐蚀性,不可燃,有毒,有刺激性,窒息性的气体。在潮湿的空气中形成致密的烟雾。三氟化硼刺激粘膜。它可溶于水分解形成氟酸。可水解在潮湿空气中。三氟化硼作为高压压缩气体运输。
规格
纯度 , %
99.5
99.995
氧气+氮气+ 氩气
≤10 ppmv
二氧化碳
≤ 10 ppmv
惰性气体(氧气+氮气+二氧化碳)
≤ 4000 ppm
二氧化硫
≤ 20 ppm
≤ 10 ppmv
四氟化硅
≤ 300 ppm
≤3  ppmv
水分
≤ 0.3 %
运输
DOT 运输名称
三氟化硼,压缩的
DOT 分类
2.3
DOT 标签
毒气/ 吸入危害
UN NO.
UN1008
CAS NO.
7637/7/2
CGA/DISS/JIS/DIN477
330/642/W22-14L/NO.8
运输状态
压缩气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C 
气体
在空气中的燃烧极限
不可燃
自燃温度 (°C )
-
分子量 ( g/mol )
67.805
比重 ( 空气 =1)
2.32
临界温度 ( °C )
-12.25 
临界压力 ( psig )
708.32
应用
-在半导体制造中,三氯化硼是用于在硅片上的P型扩散;
-离子注入;

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